- Schrägbeleuchtung
- f <licht> ■ oblique illumination
German-english technical dictionary. 2013.
Schrägbeleuchtung
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Schrägbeleuchtung — (englisch off axis illumination) – seltener Schrägbelichtung oder außeraxiale Belichtung genannt – bezeichnet in der Halbleitertechnik ein fortgeschrittenes Belichtungsverfahren bei der fotolithografischen Strukturierung. Es bietet die… … Deutsch Wikipedia
